電子工業(yè)是研制和生產(chǎn)電子設(shè)備及各種電子元件、器件、儀器、儀表的工業(yè)。由廣播電視設(shè)備、通信導航設(shè)備、雷達設(shè)備、電子計算機、電子元器件、電子儀器儀表和其他電子專用設(shè)備等生產(chǎn)行業(yè)組成。
制造半導體前,必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片,晶圓生產(chǎn)包括:晶棒成長、晶棒裁切與檢測、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗包裝工序;研磨過程之后需采用大量的超純水來洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆粒或金屬離子污染物,因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。
在液晶顯示器的生產(chǎn)過程中要多次涉及到清洗工藝,如所使用的玻璃基板在受入前必須清洗干凈,在濺鍍ITO導電膜之前還需要清洗干凈;除此之外,在涂敷光刻膠等之前都要對玻璃基板進行清洗,將1微米以上的顆粒以及所有的無機、有機污染物清洗干凈,保證工藝達到所需要的精度要求。
PCB電路板清洗液過濾以去除清洗過程中引入的雜質(zhì),達到清洗循環(huán)利用或排放標準;玻璃基板上的污染物,主要來自制造工藝過程以及玻璃基板的搬運、包裝、運輸、儲存過程,主要的污染物有塵埃粒子、纖維紙屑、礦物油和油脂等油垢、氧化硅等無機顆粒、制備加工過程的殘留物、水跡、手指印等。